Dry efficient cleaning of poly-methyl-methacrylate residues from graphene with high-density H2 and H2-N2 plasmas

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标题	Dry efficient cleaning of poly-methyl-methacrylate residues from graphene with high-density H2 and H2-N2 plasmas
网址	https://pubs.aip.org/aip/jap/article-pdf/doi/10.1063/1.49313...
DOI	10.1063/1.4931370 doi
其它	期刊：Journal of Applied Physics 作者：G. Cunge; D. Ferrah; C. Petit-Etienne; A. Davydova; H. Okuno; et al 出版日期：2015-09-24
求助人	dafeijun 在 2026-10-29 15:55:00 发布自中国，悬赏 10 积分
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