FEM analysis of Pt/ScₓAl₁₋ₓN/Al₂O₃ One Port Surface Acoustic Wave Resonators

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标题	FEM analysis of Pt/ScₓAl₁₋ₓN/Al₂O₃ One Port Surface Acoustic Wave Resonators
网址	https://ieeexplore.ieee.org/document/9962028
DOI	10.1109/IC-MAM54456.2022.9962028 doi
求助人	Twelve 在 2026-10-08 11:01:42 发布自上海，悬赏 20 积分
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