Performance Analysis of Novel Square-Shaped MEMS-Based Capacitive Pressure Sensor for Low-Pressure Applications

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标题	Performance Analysis of Novel Square-Shaped MEMS-Based Capacitive Pressure Sensor for Low-Pressure Applications
网址	https://doi.org/10.1080/03772063.2025.2546160
DOI	10.1080/03772063.2025.2546160 doi
其它	期刊：IETE Journal of Research 作者：Kavitha Jagabathuni; Movva Pramod; Swapna Peravali 出版日期：2025
求助人	辛勤长颈鹿在 2026-01-27 16:28:02 发布自辽宁，悬赏 30 积分
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