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 High-efficiency submerged air jet chemical mechanical polishing at the atomic and close-to-atomic scale 相关领域
材料科学
脆性
计算
喷射（流体）
抛光
化学机械平面化
复合材料
原子单位
冶金
过程（计算）
化学过程
刮擦
曲面（拓扑）
灵活性（工程）
产量（工程）
化学种类
表征（材料科学）
机制（生物学）
原子力显微镜
工程制图
表面粗糙度
机械工程
纳米技术
表面光洁度
表面处理
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期刊：Journal of Materials Processing Technology 作者：Zili Zhang; Song Yuan; Rui Chen; Wei Wu; Ze Li; et al 出版日期：2026-01-02 |
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