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标题
Surface damage to a 4H-SiC single-crystal substrate caused by dual-fluid spray cleaning
双流体喷雾清洗对4H-SiC单晶衬底的表面损伤
相关领域
基质（水族馆） 对偶（语法数字） 材料科学 单晶 化学工程 复合材料 化学 纳米技术 结晶学 工程类 海洋学 文学类 地质学 艺术
网址
https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2025.163868
DOI
10.1016/j.apsusc.2025.163868 doi
其它 期刊：Applied Surface Science
作者：Huiqing Chen; Chen Shao; Xiufang Chen; Xiaomeng Li; Xianglong Yang; et al
出版日期：2025-06-20
求助人
srics 在 2025-12-02 22:53:58 发布自江苏，悬赏 10 积分
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