Optimizing EUV imaging metrics as a function of absorber thickness and illumination source: simulation case study of Ta-Co alloy

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标题	Optimizing EUV imaging metrics as a function of absorber thickness and illumination source: simulation case study of Ta-Co alloy
网址	https://doi.org/10.1117/12.2640098
DOI	10.1117/12.2640098 doi
其它	期刊：37th European Mask and Lithography Conference 作者：Devesh Thakare; Annelies Delabie; Vicky Philipsen 出版日期：2022-11-02
求助人	小张真的困啦在 2026-01-29 19:53:23 发布自中国，悬赏 20 积分
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