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标题
Investigating the difference in nucleation during Si-based ALD on different surfaces for future area-selective deposition
为未来区域选择性沉积研究硅基ALD在不同表面上成核的差异
相关领域
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网址
https://doi.org/10.1109/nano.2018.8626336
AI链接 tue.nl scopus.com tue.nldoi.org
DOI
10.1109/nano.2018.8626336 doi
其它 期刊：
作者：Ekaterina A. Filatova; Alfredo Mameli; Adriaan J. M. Mackus; F. Roozeboom; W. M. M. Kessels; et al
出版日期：2018-07-01
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zhangyu 在 2025-12-06 15:59:00 发布，悬赏 10 积分
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