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 Investigating the difference in nucleation during Si-based ALD on different surfaces for future area-selective deposition 为未来区域选择性沉积研究硅基ALD在不同表面上成核的差异
相关领域
原子层沉积
成核
硅
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期刊： 作者：Ekaterina A. Filatova; Alfredo Mameli; Adriaan J. M. Mackus; F. Roozeboom; W. M. M. Kessels; et al 出版日期：2018-07-01 |
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