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标题
Design and Optimization of MEMS based AlN Sensor for Acoustic Application
基于MEMS的AlN声学传感器的设计与优化
相关领域
微电子机械系统 材料科学 偏转（物理） 制作 振膜（声学） 氮化硅 光电子学 硅 绝缘体上的硅 压电 氮化物 图层（电子） 电子工程 声学 纳米技术 光学 复合材料 工程类 振动 医学 物理 替代医学 病理
网址
https://doi.org/10.56042/ijems.v30i3.3658
AI链接 res.indoi.org
DOI
10.56042/ijems.v30i3.3658 doi
其它 期刊：Indian Journal of Engineering and Materials Sciences
作者：Mohini Sawane; Mahanth Prasad; Rajesh Kumar
出版日期：2023-01-01
求助人
酷波er 在 2025-12-05 22:10:57 发布自江苏，悬赏 10 积分
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