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标题
Micro-Joule heater and temperature sensor array on a suspended silicon nitride membrane for measurement of in-plane thin film thermal diffusivity
相关领域
热扩散率 材料科学 氮化硅 帕利烯 焦耳加热 薄膜 光电子学 热导率测量 温度测量 硅 复合材料 热导率 纳米技术 聚合物 量子力学 物理
网址
https://doi.org/10.1016/j.sna.2023.114635
DOI
10.1016/j.sna.2023.114635 doi
其它 期刊：Sensors and Actuators A Physical
作者：Felix Jiang; Laura Schaller; Meguya Ryu; Junko Morikawa; Sven Ingebrandt; et al
出版日期：2023-09-03
求助人
科研渣渣 在 2026-01-11 15:59:27 发布自贵州，悬赏 10 积分
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  • 1天前

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