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AlGaN/GaN HEMTs with a magnetron-sputtered AlN buffer layer
磁控溅射AlN缓冲层的AlGaN/GaN HEMTs
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期刊:Microelectronics Journal 作者:Chunming Zhao; Ni Zeng; Bingzhi Zou; Qiang Sun; Jinyi Wang; et al 出版日期:2023-10-01 |
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