Interpretation of Donor Activation in Boron and Argon Implanted Self-Aligned Bottom-Gate IGZO TFTs

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标题	Interpretation of Donor Activation in Boron and Argon Implanted Self-Aligned Bottom-Gate IGZO TFTs 相关领域硼氩材料科学退火（玻璃）离子注入钝化光电子学铟浅层供体制作纳米技术离子冶金化学图层（电子）医学替代医学有机化学兴奋剂病理
网址	https://doi.org/10.1149/09807.0081ecst
DOI	10.1149/09807.0081ecst doi
其它	期刊：ECS Transactions 作者：Muhammad Salahuddin Kabir; Rahnuma Rifat Chowdhury; Robert G. Manley; Karl D. Hirschman 出版日期：2020-09-08
求助人	强哥在 2025-10-15 17:19:22 发布自河北，悬赏 10 积分
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