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Physical and electrical characterization of HfO2 metal–insulator–metal capacitors for Si analog circuit applications
相关领域
材料科学 电容器 电介质 电容 薄膜 光电子学 分析化学(期刊) 脉冲激光沉积 高-κ电介质 纳米技术 电压 电极 化学 电气工程 色谱法 工程类 物理化学
网址
DOI
10.1063/1.1579550 doi
其它 期刊:Journal of Applied Physics
作者:Hang Hu; Chunxiang Zhu; Y. F. Lu; Yunzhuo Wu; T. Liew; et al
出版日期:2003-06-30
求助人
玛卡巴卡 在 2025-10-29 17:23:51 发布自北京,悬赏 10 积分
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