Efficient large-area polishing of fused silica surfaces based on inductively coupled plasma

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标题	Efficient large-area polishing of fused silica surfaces based on inductively coupled plasma 基于电感耦合等离子体的熔融石英表面高效大面积抛光相关领域感应耦合等离子体抛光等离子体电感耦合等离子体质谱法材料科学化学冶金色谱法物理质谱法量子力学
网址	https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2024.161308
DOI	10.1016/j.apsusc.2024.161308 doi
其它	期刊：Applied Surface Science 作者：Hao Sun; Yixiao Ruan; Qixian Cao; Long Bai; Jianfeng Xu 出版日期：2024-09-01
求助人	王雪松在 2025-09-29 10:01:08 发布自吉林，悬赏 10 积分
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