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 Effect of Intermolecular Interaction of Compound Surfactant on Particle Removal in Post-Cu CMP Cleaning 复合表面活性剂分子间相互作用对铜CMP后清洗中颗粒去除的影响
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期刊：ECS Journal of Solid State Science and Technology 作者：Lijing Qu; Baohong Gao; Xuanshi Wang; Tongxi Wu; Baimei Tan 出版日期：2021-06-01 |
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