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标题
The Intermixing Study of Cu/Ru Interface in Dual-Damascene Scheme for Advanced Interconnect
先进互连双大马士革方案中铜/钌界面互混研究
网址
https://doi.org/10.1109/IITC66087.2025.11075453
DOI
10.1109/IITC66087.2025.11075453 doi
其它 期刊：2025 IEEE International Interconnect Technology Conference (IITC)
作者：Sunyoung Noh; Yeonuk Kim; Seongho Park; Olalla Varela Pedreira; Nunzio Buccheri; et al
出版日期：2025
求助人
stretchability 在 2025-07-22 20:47:09 发布自江苏，悬赏 10 积分
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