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 Study of reactive ion etched nanometre size trenches using a combined scanning electron microscope and scanning tunnelling microscope 用扫描电子显微镜和扫描隧道显微镜组合研究反应离子刻蚀纳米尺寸沟槽
相关领域
材料科学
扫描电子显微镜
纳米
电子束诱导沉积
显微镜
纳米技术
反应离子刻蚀
聚焦离子束
制作
扫描隧道显微镜
光电子学
蚀刻（微加工）
平版印刷术
氮化硅
扫描探针显微镜
硅
光学
扫描透射电子显微镜
离子
复合材料
化学
医学
物理
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有机化学
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病理
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期刊：Nanotechnology 作者：Grahame C. Rosolen; T.K.S. Wong; Mark E. Welland 出版日期：1992-04-01 |
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