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标题
Fabrication of high Q microtoroid cavity on a silicon wafer by wet etching
湿法刻蚀在硅片上制作高Q微环腔
相关领域
薄脆饼 硅 蚀刻（微加工） 材料科学 制作 四甲基氢氧化铵 光电子学 光刻 干法蚀刻 图层（电子） 纳米技术 医学 病理 替代医学
网址
https://doi.org/10.1117/12.2626003
DOI
10.1117/12.2626003 doi
其它 期刊：
作者：Yantang Huang; Senlin Peng; Qiling Xu; Tingdi Liao
出版日期：2022-01-21
求助人
physics_xw 在 2025-08-29 22:09:56 发布，悬赏 20 积分
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