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 Study of morphological characteristic ofpor-Si formed using metal-assisted chemical etching by BET-method and fractal geometry 用BET法和分形几何研究金属辅助化学腐蚀形成多孔硅的形貌特征
相关领域
分形
蚀刻（微加工）
材料科学
各向同性腐蚀
金属
几何学
分形维数
纳米技术
冶金
数学
数学分析
图层（电子）
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期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE 作者：A. N. Boyko; O. V. Pyatilova; Рустам Мухамедович Калмыков; Д. С. Гаев; С. П. Тимошенков; et al 出版日期：2016-12-30 |
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