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标题
Study of morphological characteristic ofpor-Si formed using metal-assisted chemical etching by BET-method and fractal geometry
用BET法和分形几何研究金属辅助化学腐蚀形成多孔硅的形貌特征
相关领域
分形 蚀刻(微加工) 材料科学 各向同性腐蚀 金属 几何学 分形维数 纳米技术 冶金 数学 数学分析 图层(电子)
网址
DOI
10.1117/12.2267147 doi
其它 期刊:Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE
作者:A. N. Boyko; O. V. Pyatilova; Рустам Мухамедович Калмыков; Д. С. Гаев; С. П. Тимошенков; et al
出版日期:2016-12-30
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