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 Experimental investigation on crack evolution and separation strength in 4H-SiC slicing by sub-nanosecond laser 亚纳秒激光切割4H-SiC裂纹演化及分离强度的实验研究
相关领域
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期刊：Optics and Laser Technology 作者：Heng Wang; Qiang Cao; Tianhao Wu; Zhenzhong Wang; Yuting Hou; et al 出版日期：2025-03-29 |
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