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标题
Spin-on deposition of amorphous zeolitic imidazolate framework films for lithography applications
用于光刻应用的无定形沸石咪唑盐骨架膜的旋涂沉积
相关领域
沸石咪唑盐骨架 无定形固体 材料科学 沉积(地质) 平版印刷术 自旋(空气动力学) 纳米技术 咪唑酯 光电子学 化学工程 结晶学 化学 工程类 金属有机骨架 有机化学 机械工程 吸附 地质学 古生物学 沉积物
备注
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网址
DOI
10.1038/s44286-025-00273-z doi
提醒:求助人提供的doi与AI识别不一致 10.21203/rs.3.rs-6092786/v1 Doi
其它 Miao, Y., Zheng, S., Waltz, K.E. et al. Spin-on deposition of amorphous zeolitic imidazolate framework films for lithography applications. Nat Chem Eng (2025). https://doi.org/10.1038/s44286-025-00273-z
求助人
xiaolai 在 2025-09-16 16:36:19 发布自陕西,悬赏 10 积分
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