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 Highly Selective Etching of SiGe to Si for GAAFET GAAET中的硅硅高选择性蚀刻
相关领域
蚀刻（微加工）
选择性
过氧乙酸
材料科学
制作
各向同性腐蚀
纳米技术
分析化学（期刊）
光电子学
化学
催化作用
有机化学
图层（电子）
医学
替代医学
过氧化氢
病理
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期刊：Solid State Phenomena 作者：Seung Hyo Lee; Won Je Lee; Sangwoo Lim 出版日期：2023-08-14 |
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