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标题
Experimental measurement of E to H mode transition in O2, N2 and O2-N2 gases in cylindrical ICP source for photoresist dry-strip applications
网址
http://xplorestaging.ieee.org/ielx7/8471918/8495978/08496273...
DOI
10.1109/plasma.2017.8496273 doi
其它 期刊：2017 IEEE International Conference on Plasma Science (ICOPS)
作者：S. Nawaz; H. S. Rhee; D. H. Kim; S. J. Yoon
出版日期：2018-11-16
求助人
Lecyel 在 2026-04-07 16:19:52 发布自上海，悬赏 10 积分
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  • 2个月前，求助关闭

    科研通管家 科研通管家 机器人 关闭了本次求助。

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  • 2个月前

    Lecyel Lecyel Lv2 求助人 驳回了 科研通AI61 上传的文件

    说明
    内容不全

  • 2个月前

    科研通AI61 科研通AI61 机器人Lv12 上传了文件

    已驳回 PLASMA.2017.8496273.pdf (402.55 KB)
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  • 2个月前

    Lecyel Lecyel Lv2 求助人 发起了本次求助

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