Soft x-ray reduction lithography using multilayer mirrors

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标题	Soft x-ray reduction lithography using multilayer mirrors
网址	https://pubs.aip.org/avs/jvb/article-pdf/7/6/1648/11491244/1...
DOI	10.1116/1.584507 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics Processing and Phenomena 作者：H. Kinoshita; K. Kurihara; Y. Ishii; Y. Torii 出版日期：2002-07-27
求助人	Ethereal 在 2026-05-27 19:56:06 发布自日本，悬赏 10 积分
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