Indirect Synthesis of Carbon-Free Perovskite SrTiO3 Thin Films via SrF2 and TiO2 ALD for DRAM Capacitors

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标题	Indirect Synthesis of Carbon-Free Perovskite SrTiO3 Thin Films via SrF2 and TiO2 ALD for DRAM Capacitors
网址	https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2026.165987
DOI	10.1016/j.apsusc.2026.165987 doi
其它	期刊：Applied Surface Science 作者：Jaejun Lee; Sangyeon Jeong; Kyunghun Lyu; Taehyun Kim; Chanwoo Park; et al 出版日期：2026
求助人	Kee 在 2026-03-11 16:02:41 发布自福建，悬赏 10 积分
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