Characterization and Modeling of Atomic Layer Deposited High-Density Trench Capacitors in Silicon

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标题	Characterization and Modeling of Atomic Layer Deposited High-Density Trench Capacitors in Silicon
网址	http://dx.doi.org/10.1109/tsm.2012.2183903
DOI	10.1109/tsm.2012.2183903 doi
其它	期刊：IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing 作者：Marion K. Matters-Kammerer; K. B. Jinesh; Theo G. S. M. Rijks; Fred Roozeboom; Johan H. Klootwijk 出版日期：2012-05-01
求助人	热心猕猴桃在 2026-06-30 14:14:26 发布自河北，悬赏 10 积分
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