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标题
Comparative study of the elastic properties of silicate glass films grown by plasma enhanced chemical vapor deposition
网址
https://pubs.aip.org/avs/jvb/article-pdf/14/6/3460/11812181/...
DOI
10.1116/1.588780 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures Processing, Measurement, and Phenomena
作者：G. Carlotti; L. Doucet; M. Dupeux
出版日期：2002-07-27
求助人
可乐不珍珍 在 2026-08-13 12:05:06 发布自安徽，悬赏 10 积分
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