Recent development and futuristic applications of MEMS based piezoelectric microphones

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标题	Recent development and futuristic applications of MEMS based piezoelectric microphones
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S092442472...
DOI	10.1016/j.sna.2022.113887 doi
其它	期刊：Sensors and Actuators A-Physical 作者：Ashish Kumar; Arathy Varghese; Anup Sharma; M. Prasad; V. Janyani; et al 出版日期：2022-09-01
求助人	刘冲在 2026-08-13 21:14:13 发布自美国，悬赏 10 积分
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