Effects of Thin Film Layers on Actuating Performance of Micro Heaters

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标题	[高分] Effects of Thin Film Layers on Actuating Performance of Micro Heaters
网址	https://www.semanticscholar.org/paper/4cf6b16746f17888967854...
DOI	10.2352/j.imagingsci.technol.(2007)51:5(445 doi
其它	期刊：NIP & Digital Fabrication Conference 作者：Min-Soo Kim; B. Lee; Y. Lee; D. Shim; K. Kuk 出版日期：2006-01-01
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