Preparation and performance study of cerium oxide abrasives for atomic-level chemical mechanical polishing

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标题	Preparation and performance study of cerium oxide abrasives for atomic-level chemical mechanical polishing
网址	http://dx.doi.org/10.3724/jfmd.2602027
DOI	10.3724/jfmd.2602027 doi
其它	期刊：Journal of Functional Meterials and Devices 作者：Jinchi CHEN; Jiahui MA; Qihao YANG; Jie CHENG 出版日期：2026-04-01
求助人	影汐儿在 2026-09-11 22:51:40 发布自陕西，悬赏 10 积分
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