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Temperature-dependent oxygen annealing effect on the properties of Ga2O3 thin film deposited by atomic layer deposition
网址
https://doi.org/10.1016/j.jallcom.2022.166727
DOI
10.1016/j.jallcom.2022.166727 doi
其它 期刊：Journal of Alloys and Compounds
作者：Lin Gu; Hong-Ping Ma; Yi Shen; Jie Zhang; Wenjie Chen; et al
出版日期：2022-08-10
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estk 在 2026-07-09 14:32:18 发布自北京，悬赏 10 积分
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