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 Ultraprecision machining for single-crystal silicon carbide wafers: State-of-the-art and prospectives 相关领域
碳化硅
薄脆饼
机械加工
材料科学
碳化物
冶金
工程物理
纳米技术
工程类
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| 其它 |
期刊：Journal of Advanced Manufacturing Science and Technology 作者：Haoxiang WANG; ; ; Renke KANG; Zhigang DONG; Shang GAO 出版日期：2024-08-27 |
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