Improvement of Voltage Linearity and Leakage Current of MIM Capacitors With Atomic Layer Deposited Ti-Doped ZrO2 Insulators

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标题	Improvement of Voltage Linearity and Leakage Current of MIM Capacitors With Atomic Layer Deposited Ti-Doped ZrO2 Insulators 原子层沉积Ti掺杂ZrO2绝缘体改善MIM电容器电压线性度和漏电流相关领域电容器电容分析化学（期刊）材料科学符号物理数学量子力学化学有机化学电压算术电极
网址	https://doi.org/10.1109/ted.2023.3267752
DOI	10.1109/ted.2023.3267752 doi
其它	期刊：IEEE Transactions on Electron Devices 作者：Guang Zheng; Yu-Li He; Bao Zhu; Xiaohan Wu; David Wei Zhang; et al 出版日期：2023-04-28
求助人	gty 在 2025-05-23 20:17:53 发布自贵州，悬赏 10 积分
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