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 Influence of silicon content on the microstructure, mechanical and tribological properties of magnetron sputtered Ti–Mo–Si–N films 硅含量对磁控溅射Ti-Mo-Si-N薄膜组织、力学和摩擦学性能的影响
相关领域
材料科学
微观结构
溅射沉积
无定形固体
硅
内容（测量理论）
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摩擦学
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期刊：Vacuum 作者：Junhua Xu; Hongbo Ju; Lihua Yu 出版日期：2014-08-21 |
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