Oxidation resistance and thermal stability of (MoZrHfTaNb)-Si-B coatings deposited by HIPIMS method with different Ar pressure

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标题	Oxidation resistance and thermal stability of (MoZrHfTaNb)-Si-B coatings deposited by HIPIMS method with different Ar pressure 不同Ar压力下HIPIMS沉积（MoZrHfTaNb）-Si-B涂层的抗氧化性和热稳定性相关领域高功率脉冲磁控溅射材料科学热稳定性分析化学（期刊）化学工程冶金化学溅射薄膜纳米技术溅射沉积环境化学工程类
网址	https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2024.113456
DOI	10.1016/j.vacuum.2024.113456 doi
其它	期刊：Vacuum 作者：A. D. Chertova; D. A. Sidorenko; Е. А. Левашов; PhV. Kiryukhantsev-Korneev 出版日期：2024-09-01
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