MOCVD TiN薄膜在先进集成电路制造中应用的研究

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标题	[高分] 学位论文 MOCVD TiN薄膜在先进集成电路制造中应用的研究
网址	求助人暂未提供
DOI	暂未提供，该求助的时间将会延长，查看原因？
其它	作者: 易万兵导师: 邹世昌；杨华岳学校: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所)
求助人	Ryan 在 2025-06-16 09:32:18 发布自河北，悬赏 50 积分
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