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 Thickness dependent integrity of gate oxide on SOI SOI上栅极氧化物的厚度相关完整性
相关领域
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薄脆饼
栅氧化层
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期刊：Applied Surface Science 作者：Mikio Tsujiuchi; T. Iwamatsu; Hideki Naruoka; Hiroshi Umeda; T. Ippōshi; et al 出版日期：2003-05-12 |
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