Low Volume Shrinkage Alkaline Degradable UV Nanoimprint Lithography Resists Based on Acrylic Anhydride

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标题	Low Volume Shrinkage Alkaline Degradable UV Nanoimprint Lithography Resists Based on Acrylic Anhydride 低体积收缩碱性可降解紫外纳米压印抗蚀剂的基于丙烯酸酯的抗蚀剂相关领域抵抗收缩率材料科学纳米压印光刻固化（化学）复合材料紫外线固化平版印刷术化学工程光电子学图层（电子）工程类医学替代医学病理制作
网址	https://doi.org/10.1039/d4nr03291h
DOI	10.1039/d4nr03291h doi
其它	期刊：Nanoscale 作者：Chuan Zhao; Ya-Juan Cai; Yi-Xing Sun; Ya-Ge Wu; Ke-Xiao Sang; et al 出版日期：2024-11-11
求助人	Kris 在 2025-05-01 01:40:53 发布自陕西，悬赏 10 积分
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