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Evaluation of x-ray resists for submicron lithography
作者
R. Redaelli,
G Margaret Wells,
F. Cerrina,
S. Crapella,
G. Vento
出处
期刊：
Microelectronic Engineering
[Elsevier BV]
日期：1987-12-01
卷期号：6 (1-4): 519-525
标识
DOI：10.1016/0167-9317(87)90082-7
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