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 Effect of substrate temperature on the properties of reactively sputtered TiN/NbN multilayers 衬底温度对反应溅射TiN/NbN多层膜性能的影响
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期刊：Crystal Research and Technology 作者：B. Subramanian; Ananthakumar Ramadoss; M. Jayachandran 出版日期：2011-10-20 |
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