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![]() 原子级光滑GaAs衬底上磁控溅射Ti薄膜的性质
相关领域
溅射沉积
材料科学
溅射
光电子学
腔磁控管
薄膜
纳米技术
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期刊:Thin Solid Films 作者:A. E. Kazakova; E. V. Fomin; А. А. Левин; А. В. Нащекин; I. S. Shashkin; et al 出版日期:2024-08-01 |
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