Detection Limit of Photoluminescence Method for Determination of Carbon Impurity Concentration in Silicon

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标题	Detection Limit of Photoluminescence Method for Determination of Carbon Impurity Concentration in Silicon 光致发光法测定硅中碳杂质浓度的检出限相关领域检出限杂质硅光致发光分析化学（期刊）极限（数学）物理材料科学化学光电子学色谱法数学量子力学数学分析
网址	https://doi.org/10.1109/edtm53872.2022.9798311
DOI	10.1109/edtm53872.2022.9798311 doi
其它	期刊：2022 6th IEEE Electron Devices Technology & Manufacturing Conference (EDTM) 作者：Yuta Satake; Michio Tajima; Shota Asahara; Atsushi Ogura 出版日期：2022-03-06
求助人	flystone 在 2025-03-01 22:28:17 发布自浙江，悬赏 10 积分
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