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标题
Film bulk acoustic resonators with 400 MHz ultrawide-range tunability using crystalline PZT thin film
相关领域
材料科学 锆钛酸铅 谐振器 光电子学 铁电性 制作 极化(电化学) 薄膜 谐振器耦合系数 机电耦合系数 压电 电介质 纳米技术 复合材料 病理 物理化学 化学 医学 替代医学
网址
DOI
10.1016/j.mssp.2023.107817 doi
其它 期刊:Materials Science in Semiconductor Processing
作者:Xinyu Cai; Kaihang Zhang; Jianhui Wu; Jie Li; Hao Jin; et al
出版日期:2023-09-03
求助人
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