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 Effect of water vapor pressure on positive and negative tone electron-beam patterning of poly(methyl methacrylate) 相关领域
材料科学
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B Nanotechnology and Microelectronics Materials Processing Measurement and Phenomena 作者：Deepak Kumar; Krishnaroop Chaudhuri; J. W. Brill; Jonathan T. Pham; J. Todd Hastings 出版日期：2023-01-01 |
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