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  Low-loss α-tantalum coplanar waveguide resonators on silicon wafers: fabrication, characterization and surface modification 相关领域
制作
钽
谐振器
薄脆饼
材料科学
共面波导
表征（材料科学）
光电子学
硅
表面改性
波导管
氮化钽
纳米技术
工程类
冶金
电信
机械工程
病理
替代医学
医学
微波食品加热
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期刊：Materials for Quantum Technology 作者：Daniel Pérez Lozano; Massimo Mongillo; X Piao; Sébastien Couet; Derrick C. Wan; et al 出版日期：2024-05-14 |
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