Optical Constant and Conformality Analysis of SiO2 Thin Films Deposited on Linear Array Microstructure Substrate by PECVD

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标题	Optical Constant and Conformality Analysis of SiO2 Thin Films Deposited on Linear Array Microstructure Substrate by PECVD
网址	https://doi.org/10.3390/coatings11050510
DOI	10.3390/coatings11050510 doi
其它	期刊：Coatings 作者：Yongqiang Pan; Huan Liu; Zhuoman Wang; Jinmei Jia; Jijie Zhao 出版日期：2021
求助人	霜幕在 2026-01-28 19:53:16 发布自湖北，悬赏 10 积分
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