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标题
Wafer-scale monolayer dielectric integration on atomically thin semiconductors
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材料科学 单层 电介质 光电子学 晶体管 电容 二硒化钨 半导体 纳米技术 薄膜晶体管 泄漏(经济) 栅极电介质 原子层沉积 纳米电子学 高-κ电介质 薄膜 阈下斜率 可扩展性 异质结 逻辑门 电容器 工程物理 沉积(地质)
网址
DOI
10.1038/s41563-025-02445-x doi
其它 期刊:Nature Materials
作者:Zhenzhen Shen; Haoqi Wu; C. Ying’an Liu; Z. M. Liu; Yongbo Jiang; et al
出版日期:2026-01-12
求助人
瘦了但没完全瘦 在 2026-01-19 13:45:40 发布自江苏,悬赏 10 积分
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