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Wafer-scale monolayer dielectric integration on atomically thin semiconductors

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作者

Zhenzhen Shen,Haoqi Wu,Chunsen Liu,Z. M. Liu,Yongbo Jiang,Tanjun Wang,Peng Zhou

出处

期刊：Nature Materials [Nature Portfolio]
日期：2026-01-12 卷期号：25 (2): 199-206 被引量：4

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标识

DOI：10.1038/s41563-025-02445-x

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