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Wafer-scale monolayer dielectric integration on atomically thin semiconductors
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作者
Zhenzhen Shen,
Haoqi Wu,
Chunsen Liu,
Z. M. Liu,
Yongbo Jiang,
Tanjun Wang,
Peng Zhou
出处
期刊：
Nature Materials
[Nature Portfolio]
日期：2026-01-12
卷期号：25 (2): 199-206
被引量：4
链接
nih.gov
doi.org
标识
DOI：10.1038/s41563-025-02445-x
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