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 High Fill-Factor Two-Axis Gimbaled Tip-Tilt-Piston Micromirror Array Actuated by Self-Aligned Vertical Electrostatic Combdrives 自对准垂直静电梳状驱动器驱动的高填充因子双轴万向倾斜活塞微镜阵列
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材料科学
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期刊：Journal of Microelectromechanical Systems 作者：Il Woong Jung; Uma Krishnamoorthy; Olav Solgaard 出版日期：2006-06-01 |
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