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Investigation of Si/Si bond interface fabricated using room temperature direct bonding
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网址
https://doi.org/10.1016/j.surfin.2025.106124
DOI
10.1016/j.surfin.2025.106124 doi
其它 期刊：Surfaces and Interfaces
作者：Seigo Murakami; Ryo Takigawa
出版日期：2025-03-07
求助人
ZongchenYang 在 2025-11-24 16:36:57 发布自北京，悬赏 10 积分
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