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Effects of cumulative ion bombardment on ITO films deposited on PET and Si substrates by DC magnetron sputtering 累积离子轰击对直流磁控溅射在PET和Si衬底上沉积ITO薄膜的影响
相关领域
材料科学
溅射
溅射沉积
光电子学
离子
薄膜
纳米技术
化学
有机化学
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期刊:Optical Materials Express 作者:Kun-San Tseng; Yu‐Lung Lo 出版日期:2014-03-21 |
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